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SCA61T系列高精度单轴倾角传感器

SCA61T系列高精度单轴倾角传感器是基于3D MEMS的单轴倾角计,它提供了水平测量仪表级别的性能。SCA61T系列高精度单轴倾角传感器低温度依赖性、高分辨率、低噪声和健全的传感元件设计让其成为水平测量仪器的不二选择。

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一、概述

    SCA61T系列高精度单轴倾角传感器是基于3D MEMS的单轴倾角计,它提供了水平测量仪表级别的性能。SCA61T系列高精度单轴倾角传感器低温度依赖性、高分辨率、低噪声和健全的传感元件设计让其成为水平测量仪器的不二选择。

二、产品特点

  1、在工作全温区内长期保持高稳定性。
  2、ug级别的分辨率。
  3、能遭受超过20,000g的冲击。
  4、传感器元件做了机械阻尼设计,可忽略掉高频振动的影响。
  5、多种方式的自我诊断设计,方便工程调试设计。
  6、使用标准的双排针塑料表贴封装。
  7、不需要编程,不需要进行再校正。
  8、内部增加温度补偿传感器。
  9、仅需一个5V直流供电。
  10、同时具有模拟和数字输出(SPI)接口。
  11、单晶硅材料- 杰出的防冲击性能。
  12、不会有柔性变形- 在机械冲击过程中不会有参数偏移。
  13、内部气体阻尼- 机械振动辨别力。
  14、经过微加工的质量块- 低于15mg/Hz噪声的ug级分辨率。
  15、相对称的电容感应传感器元件—卓越的零点依稀和稳定的灵敏感性度。

三、技术参数

参数名称条件SCA61T-FAHH1GSCA61T-FA1H1G单位
VDD   4.75~5.25 4.75~5.25 V
工作电流 VDD=5V;无负载 2.5~4 2.5~4 mA
工作温度   -40~125 -40~125
测量量程 常规 ±30 ±90 °
频率响应 -3dB 8-28 8-28 Hz
零点输出(0g) 环比输出 VDD/2 VDD/2 V
零点校正误差   ±0.11 ±0.23 °
零点数字输出   1024 1024 LSB
灵敏度   4 2 V/g
灵敏度校正误差   ±0.5 ±0.5 %
数字灵敏度   1638 819 LSB/g
零点温漂 -25~85℃ ±0.008 ±0.008 °/℃
灵敏度温漂 -25~85℃ ±0.014 ±0.014 %/℃
线性度   ±0.11 ±0.57 °
数字分辨率   11 11 Bits
输出噪声密度 0~100Hz 0.0008 0.0008 °/√Hz
模拟分辨率 带宽10Hz 0.0025 0.0025 °
环比误差 VDD=4.75~5.25V ±1 ±1 %
交叉灵敏度 Max. 4 4 %
长期稳定性   <0.014 <0.014 °