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教学实训设备Teaching Equipment

YG-HP1000型激光划片机

能适应单晶硅、多晶硅、非晶硅电池划片和硅、锗、砷化镓半导体材料的划片和切割。

一、产品特点

1、全新的设计:重构了整机的机械结构使设备结构更加简洁、使用更加方便。重写了部分光纤激光划片机软件源代码使软件运行更加稳定快速。

2、高配置:采用进口光纤激光器,光束质量更好(标准基模)、切缝更细(30μm)、边缘更平整光滑。

3、免维护:整机采用国际标准模块化设计,真正免维护、不间断连续运行、无消耗性易损件更换。

4、操作方便:设备集成风冷设置,设备体积更小,操作更简单。

5、专用控制软件:专为激光划片机而设计的控制软件,操作简单,能实时显示划片路径。

6、工作效率高:T型台双工位交替运行,提高工作效率最大划片速度可200mm/s。

二、应用及市场

能适应单晶硅、多晶硅、非晶硅电池划片和硅、锗、砷化镓半导体材料的划片和切割。

三、技术参数

规格 VC10 VC20
激光波长 1.064μm
激光功率 10W 20W
激光重复频率 20KHz~100KHz
划片线宽 ≤30μm
最大划片速度 160mm/s 200mm/s
划片精度 ±10μm
工作台幅面 350mm×350mm
工作电源 220V/50Hz/1KVA
工作台 双气仓负压吸附,T型台双工作位交替工作
重复定位精度 ±10μm