一、概述

多角度激光椭偏仪使用632.8nm波长HeNe激光器，对测量薄膜厚度，折射率和吸收系数有非常出色的精度。仪器能够分析单层膜，多层膜和大块材料（基底）。

二、规格

1、激光波长：632.8nm；

2、150mm（z-tilt）载物台；

3、入射角度可调，步进5°；

4、自动对准镜/显微镜，用于样品校准；

5、Small footprint；

6、以太网接口连接到PC。

三、产品特点

1、超高精度和稳定性，，来源于高稳定激光光源、温度稳定补偿器设置、起偏器跟踪和超低噪声探测器。

2、高精度样品校准，使用光学自动对准镜和显微镜。

3、快速简易测量，可选择不同的应用模型和入射角度。

4、多角度测量，可完全支持复杂应用和精确厚度。

5、全面预设应用，包含微电子、光电、磁存储、生命科学等领域。

四、技术指标

1、波长：632.8nm氦氖激光器。

2、长期稳定性：d(y)=±0.01°；d(D)=±0.1°。

3、折射率测量精度：5×10^-4for 100nm SiO2 on Si。

4、弱吸光性薄膜厚度范围（多晶硅）：最大2μm。

5、测量时间：120ms～1.5s（决定于测量方式）。

6、入射角：手动角度计40°～90°，步进值5°。

7、选项：360°旋转单元；真空吸盘；x-y地形图扫描载物台。

8、90°位置时y，D精度：d(y)=±0.002°；d(D)=±0.002°。

9、膜厚测量精度：0.1Å for 100nm SiO2 on Si。

10、透明薄膜的厚度范围：最大4μm。

11、膜层数量默认：在基底或多层膜上的1-3层膜。

12、激光束直径：1mm。

13、样品载物台：可调节高度和角度的样品台，150mm直径。

14、设置：高稳定性补偿器，可得到0°和180°附近D的高精确度电脑控制的起偏器，最佳定位/探测，自动校准高稳定旋转分析器。