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教学实训设备Teaching Equipment
一、概述
少子寿命测试仪配备有红外光源，可测量包括硅块、硅棒、硅芯、检磷棒、检硼棒、籽晶、硅片等的少子寿命及锗单晶的少子寿命
二、技术指标
1、仪器测试精度：≤±0.5%；
2、可测少子寿命范围：0.1μs～7000μs；
3、测试电阻率范围：≥0.1Ωcm 可扩展到0.01Ωcm；
4、配备光源类型：波长：980±30nm；
5、高频振荡源：用石英谐振器，振荡频率：30MHz；
6、前置放大器：放大倍数约25，频宽2Hz～1MHz；
7、测量方式：采用对标准曲线读书方式。
